项目名称 | 检测标准 | 检测周期(工作日) | 检测价格(元) |
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导电类型 | GB/T 1550-1997 | 非本征半导体材料导电类型测试方法 | ||
电阻率 | GB/T 1551-2009 | 硅单晶电阻率测定方法 | ||
径向电阻率变化 | GB/T 11073-2007 | 硅片径向电阻率变化的测量方法 | ||
载流子寿命 | GB/T 26068-2010 | 硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法 | ||
直径 | GB/T 14140-2009 | 硅片直径测量方法 | ||
厚度 | GB/T 6618-2009 | 硅片厚度和总厚度变化测试方法 | ||
总厚度变化 | GB/T 6618-2009 | 硅片厚度和总厚度变化测试方法 | ||
翘曲度 | GB/T 6620-2009 | 硅片翘曲度非接触式测试方法 | ||
晶向 | GB/T 1555-2009 | 半导体单晶晶向测定方法 | ||
晶向偏离度 | GB/T 1555-2009 | 半导体单晶晶向测定方法 | ||
参考面晶学取向 | GB/T 1555-2009 | 半导体单晶晶向测定方法 | ||
粗糙度 | GB/T 30860-2014 | 太阳能电池用硅片表面粗糙度及切割线痕测试方法 |