项目名称 | 检测标准 | 检测周期(工作日) | 检测价格(元) |
---|---|---|---|
直径 | GB/T 14140-2009 | 硅片直径测量方法 | 7 | 100 |
电阻率 | GB/T 1551-2009 | 硅单晶电阻率测定方法 | 7 | 200 |
径向电阻率变化 | GB/T 11073-2007 | 硅片径向电阻率变化的测量方法 | 7 | 150 |
导电类型 | GB/T 1550-1997 | 非本征半导体材料导电类型测试方法 | 7 | 150 |
载流子寿命 | GB/T 26068-2010 | 硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法 | 7 | 300 |
碳含量 | GB/T 1558-2009 | 硅中代位碳原子含量 红外吸收测量方法 | 7 | 150 |
氧含量 | GB/T 1557-2006 | 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法 | 7 | 150 |
晶体完整性 | GB/T 1554-2009 | 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法 | 7 | 500 |
晶向 | GB/T 1555-2009 | 半导体单晶晶向测定方法 | 7 | 200 |
晶向偏离度 | GB/T 1555-2009 | 半导体单晶晶向测定方法 | 7 | 150 |
参考面晶学取向 | GB/T 1555-2009 | 半导体单晶晶向测定方法 | 7 | 400 |