| 导电类型 | 
                  GB/T 1550-1997 | 非本征半导体材料导电类型测试方法 | 
                  7 | 
                  150 | 
                
                
                  | 电阻率 | 
                  GB/T 1551-2009 | 硅单晶电阻率测定方法 | 
                  7 | 
                  200 | 
                
                
                  | 径向电阻率变化 | 
                  GB/T 11073-2007 | 硅片径向电阻率变化的测量方法 | 
                  7 | 
                  150 | 
                
                
                  | 载流子寿命 | 
                  GB/T 26068-2010 | 硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法 | 
                  7 | 
                  300 | 
                
                
                  | 氧含量 | 
                  GB/T 1557-2006 | 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法 | 
                  7 | 
                  150 | 
                
                
                  | 碳含量 | 
                  GB/T 1558-2009 | 硅中代位碳原子含量 红外吸收测量方法 | 
                  7 | 
                  150 | 
                
                
                  | 晶体完整性 | 
                  GB/T 1554-2009 | 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法 | 
                  7 | 
                  500 | 
                
                
                  | 直径 | 
                  GB/T 14140-2009 | 硅片直径测量方法 | 
                  7 | 
                  100 | 
                
                
                  | 厚度 | 
                  GB/T 6618-2009 | 硅片厚度和总厚度变化测试方法 | 
                  7 | 
                  200 | 
                
                
                  | 总厚度变化 | 
                  GB/T 6618-2009 | 硅片厚度和总厚度变化测试方法 | 
                  7 | 
                  200 | 
                
                
                  | 翘曲度 | 
                  GB/T 6620-2009 | 硅片翘曲度非接触式测试方法 | 
                  7 | 
                  300 | 
                
                
                  | 晶向 | 
                  GB/T 1555-2009 | 半导体单晶晶向测定方法 | 
                  7 | 
                  200 | 
                
                
                  | 晶向偏离度 | 
                  GB/T 1555-2009 | 半导体单晶晶向测定方法 | 
                  7 | 
                  150 | 
                
                
                  | 参考面晶学取向 | 
                  GB/T 1555-2009 | 半导体单晶晶向测定方法 | 
                  7 | 
                  400 | 
                
                
                  | 粗糙度 | 
                  GB/T 30860-2014 | 太阳能电池用硅片表面粗糙度及切割线痕测试方法 | 
                  7 | 
                  300 |